ターボ分子ポンプ-真空ポンプのリーダー

真空技術の応用は、多くのハイテク製品を人々の日常生活に進出させた。実際、研究開発や工業分野での大量の応用には、非常に低い絶対圧力、すなわち高真空環境が必要である。ターボ分子ポンプは世界をリードする技術基準を表しているタービンシリーズ製品の名前が付いています。90,000 rpmまでの回転速度を有する高速ロータは、高真空及び超高真空の範囲内で最大10-11mbarの真空度。

最高の要件を満たす完全な真空ソリューション

普発真空には、10〜2700リットル／秒の抽気速度を有する完全ターボ分子ポンプ製品シリーズがある。製品には高い価格性能比と柔軟な設置方法があります。実践的に検証された軸受システムは、より最適な信頼性を提供します。通常、前段真空端のセラミックス玉軸受と高真空端の永久磁気ラジアル軸受を組み合わせた複合軸受システムと、完全に能動的な磁気浮上軸受システムの2種類の軸受が選択可能であり、ロータが空中に浮遊し、接触や摩耗がない。精密な回転子設計のおかげで、製品はより優れた抽気速度を持ち、より良い前段ポンプ互換性とより大きなガス流量を持ち、小分子ガスに対してより高い圧縮比を持っている。

ぶんしポンプHipace®10-800 l/s技術パラメータ

普発真空タービン分子ポンプは安全な性能を代表している

現代のターボ分子ポンプは、毎秒400メートルを超える円周速度を得ることができる。これは対応する高回転子運動エネルギーに変換され、回転子と固定子が接触すると、運動エネルギーは瞬間的にハウジングとポンプのベースに伝達される。そのため、ポンプハウジングの安定性は極めて重要な役割を果たし、理論と実際の二重検査を経なければならない。一般的な真空タービン分子ポンプはUL 61010および／またはSemi S 2によって認証されている。機械的安全性のほか、この認証には防火と回転速度の高すぎる二重保護も含まれており、これは普発真空とTüVRheinlandが共同で開発したものである。

お客様の利益の核心に注目しています

生産プロセス全体の中で、真空技術は往々にして成否の重要な要素である。各種の生産アプリケーションにおいて、大量故障や生産中断による費用損失は数百万元にも達することができる。そのため、安定した信頼性のある部品を採用することが重要になります。現在、ターボ分子ポンプの動作時間は100000時間に達することができる。これは、製品が11年間も無停止で稼働できることを意味します。この期間中は、保守やサービスによる運用中断をできるだけ回避する必要があります。普発真空タービン分子ポンプは拡張された自己診断機能を備え、この需要を満たすことができる。真空ポンプの関連技術データを分析することにより、メンテナンス作業に大きな支持をもたらした。そのため、どのメンテナンスも事前に予測することができ、ユーザーは自主的にメンテナンス計画を手配することができる。また、真空ポンプ油と軸受は現場で直接交換することができ、より大きな程度で正常な生産運転を保障することができる。ターボ分子ポンプの統合コントローラは、煩雑で高価な配線の必要性を軽減します。一流の駆動技術はエネルギー消費を最小限に抑えながら、多様なインタフェースを備えています。真空ポンプはIP 54保護等級設計を有し、工業環境の応用要求に合致する。コンパクトな構造設計により、物理的な設置要件をより小さくすることができます。コストを最小化するために、さまざまなタイプのポンプに使用できるように、一般的な真空で多様なコントローラを提供します。ポンプ本体の重量も重点的に考慮される要素である：抽気速度250リットル/毎秒のターボ分子ポンプの重量はわずか6 kgである。一般的な真空タービン分子ポンプの応用範囲は広く、分析機器、真空プロセス、半導体技術だけでなく、真空めっき、研究開発、その他の各種工業応用分野も含まれている。

応用分野

多くの製品製造とプロセス研究の分野では、真空技術は決定的な役割を果たしている。ターボ分子ポンプは極純プロセス条件の製造に重要な役割を果たす。

●分析機器（質量分析法、顕微鏡など）

●半導体業界（電子部品、集積回路、太陽電池など）

●光学/ガラス業界（断熱保護、反射防止、反射防止、フィルターめっきなど）

●真空めっき技術*（表面保護、装飾土層、表示技術、スクリーンなど）

●真空冶金（真空溶接、真空焼結、真空合金、真空炉など）

●漏洩検査（真空システム、機関車燃料タンク、エアバッグ、真空包装業界）

●科学研究施設（核粒子物理学、核融合研究、レーザー応用など）

●照明器具業界（照明器具生産等）